doktorant
Faculty of Materials Science and Ceramics WIMiC-kfmp
ORCID: brak
ResearcherID: brak
Scopus: brak
słowa kluczowe: amorficzny krzem, elipsometria, PACVD
keywords: amorphous silicon layers, RF PACVD, solar cells, ellipsometry
Zobacz pełny wykaz publikacji Autora/Autorów: Maria Jurzecka-Szymacha, Piotr Boszkowicz
cyfrowy identyfikator dokumentu:
słowa kluczowe: warstwy a-C:N:H, elipsometria spektroskopowa, współczynniki termooptyczne, PACVD
keywords: PACVD, a-C:N:H layers, elipsometry, thermooptical parameters
Zobacz pełny wykaz publikacji Autora/Autorów: Konstanty Marszałek, Katarzyna Tkacz-Śmiech
brak zdefiniowanych słów kluczowych
cyfrowy identyfikator dokumentu: 10.12693/APhysPolA.126.1241