doktorant
Faculty of Materials Science and Ceramics WIMiC-kfmp
ORCID: brak
ResearcherID: brak
Scopus: brak
Structure and optical properties of nitrogen-doped silicon and carbon layers deposited by PACVD / Ewa PIECZYŃSKA, Maria JURZECKA-SZYMACHA // W: EYEC monograph : 3\textsuperscript{rd} European Young Engineers Conference : April 29–30\textsuperscript{th} 2014, Warsaw / ed. Michał Wojasiński. — Warsaw : University of Technology. Faculty of Chemical and Process Engineering, cop. 2014. — Na okł. dod.: 100 lecie odnowienia tradycji Politechniki Warszawskiej. — ISBN: 978-83-936575-0-6. — S. 224–225
keywords: RF PACVD, ellipsometry, optical filters
Zobacz pełny wykaz publikacji Autora/Autorów: Maria Jurzecka-Szymacha
cyfrowy identyfikator dokumentu: