Diffusion and chemical composition of ${TiN_{x}O_{y}}$ thin films studied by Rutherford Backscattering Spectroscopy / K. DROGOWSKA, N.–T. H. Kim-Ngan, A. G. Balogh, M. RADECKA, A. BRUDNIK, K. ZAKRZEWSKA, Z. TARNAWSKI // Surface Science ; ISSN 0039-6028. — 2010 vol. 604 iss. 11–12, s. 1010–1014. — Bibliogr. s. 1014, Abstr.. — tekst: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0039602810001056/pdfft?md5=8247320eb872070ddeea0b41ae7c2bd3&pid=1-s2.0-S0039602810001056-main.pdf