asystent
* Wydział Elektrotechniki, Automatyki, Informatyki i Elektroniki WEAIiE-ke, * Katedra Elektroniki
ORCID: brak
ResearcherID: brak
Scopus: 6506475244
keywords: temperature control, RTP process, selenization
Zobacz pełny wykaz publikacji Autora/Autorów: Henryk Jankowski, Lidia Maksymowicz, Tadeusz Pisarkiewicz
cyfrowy identyfikator dokumentu: 10.1016/j.vacuum.2008.01.026