asystent
* Faculty of Electrical Engineering, Automatics, Computer Science and Electronics WEAIiE-ke
ORCID: brak
ResearcherID: brak
Scopus: 6506475244
Modular process control system for photovoltaic thin films manufacturing / M. WARZECHA, H. JANKOWSKI, L. MAKSYMOWICZ, T. PISARKIEWICZ // Vacuum : Surface Engineering, Surface Instrumentation & Vacuum Technology ; ISSN 0042-207X. — 2008 vol. 82 iss. 10 spec. iss., s. 1107–1110. — Bibliogr. s. 1110, Abstr.. — Zastosowano procedurę peer review. — Proceedings of the 9th Electron technology conference ELTE 2007 : Cracow, 4–7 September 2007 / guest eds. Tadeusz Pisarkiewicz, Barbara Dziurdzia. — [Dorchester] : Elsevier, 2008.. — tekst: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X08000341/pdfft?md5=4f08b42f3cf4524523c09e18a5c3d436&pid=1-s2.0-S0042207X08000341-main.pdf
keywords: temperature control, RTP process, selenization
Zobacz pełny wykaz publikacji Autora/Autorów: Henryk Jankowski, Lidia Maksymowicz, Tadeusz Pisarkiewicz
cyfrowy identyfikator dokumentu: 10.1016/j.vacuum.2008.01.026