X-ray, AFM, UV-VIS-IR analysis of multilayer a-Si:H/$\mu$c-Si:H system / Andrzej KOŁODZIEJ, Witold BARANOWSKI, Edward KUSIOR, Jarosław KANAK // W: ELTE 2010 ; IMAPS-CPMT : 10\textsuperscript{th} Electron Technology conference and 34\textsuperscript{th} international microelectronics and packaging : Wrocław, 22–25 September 2010 : book of abstracts / eds. Andrzej Dziedzic, Karol Malecha, Jacek Radojewski. — Wrocław : Wrocław University of Technology. Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, [2010]. — Dod. na okł.: 1910–2010 100 years of Technical Universities in Wrocław. — ISBN: 978-83-917701-8-4. — S. 147. — Bibliogr. s. 147. — Pełny tekst W: ELTE 2010 ; IMAPS-CPMT [Dokument elektroniczny] : 10th electron technology conference ELTE2010 and 34th international microelectronics and packaging IMAPS-CPMT Poland conference : Wrocław, 22–25 September 2010 : proceedings of ELTE/IMPAS-CPMT 2010 conference. — Wersja do Windows. — Dane tekstowe / eds. Andrzej Dziedzic [et al.]. — Wrocław : University of Technology, cop. 2010. — 1 dysk optyczny. — S. 1–4. — Wymagania systemowe: Adobe Acrobat Reader ; napęd CD-ROM. — Bibliogr. s. 4, Abstr. — ISBN 978-83-917701-9-1